admin 2026-05-13 183浏览

国产高端光刻胶树脂实现突破，打破国外技术垄断 近日，上海人工智能实验室联合中科院上海有机所、复旦大学材料科学系、华虹集团等多家国内顶尖科研与产业机构，成功攻克KrF光刻...